Hauptanwendungen
 


Röntgenspektroskopie:

  • § TXRF Spurenkontamination glatter Oberflächen
  • § RFA Multielementanalyse von Feststoffen
  • § XRD Kristallstruktur, Kristallphasen
  • § REM/EDX Bestandteilanalyse von Feststoffen, Schichten, Partikeln etc.
  • § REM/WDX Bestandteilanalyse wie EDX auch für leichte Elemente
§ Nuklearspektroskopie:
  • § NAA Spurenverunreinigung in Reinstmaterialien
  • § RBS Schichtzusammmensetzung, Oberflächenkontamination
  • § NRA Bestimmung von Wasserstoff, Bor, Phosphor in Schichten
  • § ERD Bestimmung von leichten Elementen in dünnen Schichten
Elektronenspektroskopie:
  • § AES Oberflächen- und Schichtzusammensetzungen
  • § ESCA/XPS Chemische Zustände oberflächennaher Zonen
  • § NMR Identifikation chemischer Verbindungen
§ Ionenspektroskopie:
  • § SIMS Elementtiefenprofile
  • § TOF SIMS empfindliche Oberflächenanalyse, flache Elementprofile
  • § GDMS Multielementanalyse von Festmaterialien
  • § ICP MS empfindliche Multielementanalyse in Lösungen
§ Optische Spektroskopie:
  • § FTIR Kunststoffidentifikation
  • § UV/VIS Bandkanten, Materialidentifikation
  • § AAS Einzelelementanalyse in Aufschlüssen
  • § ICP OES Multielelementanalyse in Aufschlüssen
§ Abbildende Verfahren:
  • § LM Farbbilder, Fluoreszenz- und Polarisationskontrast
  • § REM Elektronenoptische Vergrößerungen
  • § TEM Höchstauflösende Bilder (100.000fach), Fehleranalyse
  • § AFM/STM hochauflösende Oberflächentopologie, Rauhigkeiten, Muster
  • § FIB Mikrotomographische Zielpräparation